SIMO系列ICP磁控溅射光学镀膜机

SIMO系列是一种双夹具门单腔体大型磁控溅射光学镀膜机,可镀面积10.65平方米(国内最大),每个门配有一个工件架,双门交替工作。设备采用单质靶材氩气环境下溅射成膜后再在ICP射频等离子体区化合成金属化合物膜的成膜方式,能够在最大程度上加快介质膜的沉积速率,大幅提升镀膜生产效率。

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设备介绍

设备配置铌、硅等靶材,可在膜片、复合板、玻璃等2D和小幅3D素材上镀制Nb2O5、SiO2、Si3N4等膜层,完成AR、超硬AR、颜色膜等光学类膜系的镀制,并且AF膜可同炉完成。


设备可用于手机后盖彩色及渐变色装饰膜,车载显示屏、手机摄像头盖板、笔电、工控等显示屏减反射膜大规模镀膜生产,也适用于传统精密光学滤光片、VR、AR等现代智能电子产品光学元件的镀膜。


可镀面积(公转)和生产节拍:

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